Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren
Schüle, Sven
Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren - KIT Scientific Publishing 2010 - 1 electronic resource (176 p. p.)
Open Access
Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.
Creative Commons
German
KSP/1000018509 9783866445291
10.5445/KSP/1000018509 doi
Mikrosystemtechnik Interferometer LIGA-Mikrosysteme Mikroaktorik modulare Mikrosysteme
Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren - KIT Scientific Publishing 2010 - 1 electronic resource (176 p. p.)
Open Access
Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.
Creative Commons
German
KSP/1000018509 9783866445291
10.5445/KSP/1000018509 doi
Mikrosystemtechnik Interferometer LIGA-Mikrosysteme Mikroaktorik modulare Mikrosysteme