Herstellung photonischer Komponenten durch Heißprägen und UV-induzierte Brechzahlmodifikation von PMMA
Material type:
ArticleLanguage: German Publication details: KIT Scientific Publishing 2008Description: 1 electronic resource (XV, 87 p. p.)ISBN: - KSP/1000007719
- 9783866442214
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Im Polymer PMMA wurden durch Heißprägen sowohl stark führende, passive optische Wellenleiter wie auch organische DFB-Laser hergestellt und charakterisiert. Die Replikation der Strukturen erfolgte dabei durch auf Basis von mit UV- und Röntgenlithografie strukturierten Nickel-Shim-Formeinsätzen im LIGA-Verfahren.
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