Schüle, Sven <br/><br/>
Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren 

 -  KIT Scientific Publishing  2010 
 - 1 electronic resource (176 p. p.) 
<br/><br/> Open Access 
<br/><br/> Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten. 
<br/><br/><br/>Creative Commons 
<br/><br/><br/>German 
<br/><br/><label>ISBN: </label>KSP/1000018509 9783866445291 
<br/><br/><label>Standard No.: </label>10.5445/KSP/1000018509  doi 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Mikrosystemtechnik Interferometer LIGA-Mikrosysteme Mikroaktorik modulare Mikrosysteme